蒸鍍(dù)反射鏡(jing)
蒸(zheng)鍍反射(she)鏡
- 所屬(shu)分類：蒸(zhēng)鍍反射(shè)鏡
- 浏覽(lan)次數：次(ci)
- 發布日(rì)期：2025-12-07 16:04:23
- 産(chan)品概述(shu)
- 性能特(te)點
- 技術(shu)參數
蒸鍍的(de)物理過(guo)程包括(kuò)：沉積材(cai)料蒸發(fā)或升華(hua)爲氣态(tài)粒子→氣(qi)态粒子(zǐ)快速從(cong)蒸發源(yuan)向基片(piàn)表面輸(shu)送→氣态(tài)粒子附(fù)着在基(jī)片表面(miàn)形核、長(zhang)大成固(gù)體薄膜(mo)→薄膜原(yuán)子重構(gòu)或産生(sheng)化學鍵(jiàn)合。
将(jiang)基片放(fàng)入真空(kōng)室内，以(yi)電阻、電(dian)子束、激(ji)光等方(fāng)法加熱(rè)膜料，使(shi)🌈膜料蒸(zhēng)發或升(shēng)華，氣化(huà)爲具有(yǒu)一定能(néng)量（0.1～0.3eV）的❤️粒(lì)子（原子(zi)、分子或(huò)原子團(tuán)）。氣态粒(lì)子以基(jī)本無碰(peng)撞的直(zhi)線運動(dong)飛速傳(chuán)送至基(ji)片，到達(da)基片表(biao)面的粒(li)子一部(bu)分被反(fǎn)射，另一(yī)部分吸(xi)附在基(jī)片上并(bing)發生表(biǎo)面擴散(san)，沉積原(yuan)子之間(jiān)産生二(er)維碰撞(zhuàng)，形成🔞簇(cù)團，有的(de)可🙇♀️能在(zài)表面短(duǎn)時停留(liú)後又蒸(zhēng)發。
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